HOME > 設備案内 > CNC画像測定 NEXIV VMR-1515
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標準倍率ヘッドは、5段階/15倍のCNCハイスピードズームを搭載。測定箇所の大きさに応じて最適な倍率で測定できます。
入射角度の異なる2系系統の8分割LEDリング照明を装備。 8方向の照明と光量を任意に組み合わせできるので、垂直落射照明ではとらえられない微妙なエッジの検出が可能。
セラミックパッケージ・セラミック基板/プリント基板などの測定物に非常に有効です。
高性能顕微鏡に匹敵する高N.A.(0.35)、低ディストーションの対物レンズは、全倍率範囲で50mmの長作動距離を実現。低倍観察時の広視野、高倍観察時の高精度のどちらのニーズにも対応できます。
高分解能、長作動距離の高速TTLレーザオートフォーカス機構を搭載。低倍観察でも段差のある狭部へシャープにオートフォーカスでき、表面形状に依存しない高速AFを実現。1000点/秒の高速ならい測定も可能で、高精度で汎用性の高いZ軸測定が行えます。
TTLレーザAFのしくみ
広視野、高N.A.の対物レンズ/15倍ハイスピードズーム/長作動距離のTTLレーザAF/高速・高精度のイメージ(画像)AF/4系統のCNC制御により、あらゆるワーク形状に最適照明
本体部 | |
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ストローク(X×Y×Z) |
150×150×150mm |
最小表示単位 |
0.1μm |
被検物最大質量 |
20kg |
測定精度 |
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U1X, U1Y |
1.5 + 4L/1000μm (被検物質量5kg時) |
U2XY |
2.5 + 4L/1000μm(被検物質量5kg時) |
Z軸測定精度 |
1.5 + L/150μm |
カメラ |
白黒1/3型CCD(プログレッシブスキャン) カラー1/3型CCD |
作動距離 |
50mm |
倍率/視野 |
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タイプ1 |
光学倍率 0.5〜7.5× 総合倍率 18〜270× 視野 9.33×7〜0.622×0.467mm |
タイプ2 |
光学倍率 1〜15× 総合倍率 36〜540× 視野 4.67×3.5〜0.311×0.233mm |
タイプ3 |
光学倍率 2〜30× 総合倍率 72〜1080× 視野 2.33×1.75〜0.155×0.117mm |
オートフォーカス |
TTLレーザAF/イメージAF |
照明 |
透過、垂直落射、8分割LEDリング照明(中入射角/大入射角) |
供給電源 |
AC100V±10%、50/60Hz |
消費電流 |
11A |
寸法(W×D×H)/質量 |
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本体 |
512×703×1200mm/約180kg |
本体+測定台 |
690×730×1725mm/約220kg |
コントローラ |
250×550×500mm/約31kg |
設置寸法(W×D) |
2100×1100mm |
ホストコンピュータ | |
本体 |
IBM PC/AT互換機 (Windows®XP) |
CRT |
17型TFTカラー |